HYDROGENATED AMORPHOUS CARBON (a-C:H) THIN FILMS DOPED WITH FLUORINE ATOMS: CORRELATION BETWEEN COMPOSITION AND MECHANICAL PROPERTIES

J. P. LAVOUTE
Sciences des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface, Université de Limoges ENSIL, 16 rue Atlantis, 87068 Limoges
L. KILMAN
Sciences des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface, Université de Limoges ENSIL, 16 rue Atlantis, 87068 Limoges
C. JAOUL
Sciences des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface, Université de Limoges ENSIL, 16 rue Atlantis, 87068 Limoges
P. TRISTANT
Sciences des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface, Université de Limoges ENSIL, 16 rue Atlantis, 87068 Limoges
C. DUBLANCHE-TIXIER
Sciences des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface, Université de Limoges ENSIL, 16 rue Atlantis, 87068 Limoges
M. COLAS
Sciences des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface, Université de Limoges ENSIL, 16 rue Atlantis, 87068 Limoges
E. LABORDE
Sciences des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface, Université de Limoges ENSIL, 16 rue Atlantis, 87068 Limoges
F. MEUNIER
Sulzer Sorevi, Parc Ester Technopole, 5 allée Skylab, 87068 Limoges
O. JARRY
Sulzer Metaplas GmbH, Am Böttcherberg 30-38, 51427 Bergisch Gladbach

Abstract

The objective of this study is to increase the wear resistance of hydrogenated amorphous carbon (a-C:H) thin films obtained by PECVD in an industrial reactor. A way of improvement is to incorporate dopants such as fluorine to reduce the coefficient of friction. The physico-chemical properties of various coatings doped with fluorine atoms are studied and special attention was paid to their mechanical properties and their structures.

Cuvinte cheie

thin films DLC fluorine doping